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mems传感器是什么

发布日期:2021-01-06 04:25

  械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。mems是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前mems加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

  2020-12-30·TA获得超过9739个赞知道小有建树答主回答量:10.3万采纳率:98%帮助的人:294万关注